Нитридные покрытия, полученные вакуумно-дуговым осаждением

Статья. Опубликована в "Вестник КРСУ т.2, №2 2002 г. 8с.
Постоянно обостряющийся дефицит материалов на основе вольфрама и его соединений диктует необходимость поиска альтернативных материалов и технологий, в частности, технологий нанесения сверхтвердых покрытий. Широкое распространение, например, получило нанесение вакуумно-дуговых (ионно-плазменных) покрытий нитридов переходных металлов, особенно TiN. Однако возможности повышения твердости поверхностного слоя при нанесении простых нитридов ограничены. Наиболее перспективными в этом плане являются легированные конденсаты. Твердость покрытий повышается за счет сверхмелкой структуры, характерной для композиционных пленок.
Важнейшей проблемой в области защитных покрытий является повышение их физико-механических свойств, что дает возможность поднять эксплуатационные свойства режущих материалов. Это определяет необходимость изучения закономерностей изменения структуры пленок тугоплавких соединений при нагреве.
Изучение упругих, прочностных свойств и твердости тонких ионно-плазменных пленок представляется актуальной научной и практической задачей современного материаловедения. В данной статье рассматриваются проблемы упругости тонких покрытий.