Пучково-плазменные технологии для создания материалов и устройств микро - и наноэлектроники. Часть1-я

Учебно-методическое пособие для студентов направления 011200.68 – Физика, магистерская программа «Физика наноструктур и наносистем».
Тюмень:Издательство Тюменского государственного университета, 2014. 88 с.Учебно-методическое пособие включает контрольные вопросы к зачету и экзамену по дисциплине «Пучково-плазменные технологии»; список основной и дополнительной учебно-методической литературы. Для самостоятельной работы студентам предлагаются описания оборудования и технологий микро- и наноэлектроники, которые могут быть использованы и во время аудиторных занятий, и в качестве домашних заданий.
Материал рассчитан на овладение высокими технологиями в области микро- и наноэлектроники.
Рекомендовано к печати Учебно-методической комиссией Института физики и химии. Утверждено Учебно-методической секцией Ученого совета Тюменского государственного университета.